由于安裝了超高分辨率柵尺和各種技術(shù)，可最大限度地減少溫度變化對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，從而實(shí)現(xiàn)了 E0， MPE = 0.5+L/500 μm 的高精度。

蔡司 PRISMO® 系列的最高分辨率 0.02 μm 柵尺安裝在每個(gè)軸上。 此外，柵尺材料是 Zerodur®，它具有極低的熱膨脹系數(shù)，可最大限度地減少環(huán)境溫度變化對(duì)精度的影響。

FineCAA 用于通過將導(dǎo)軌分成 64 個(gè)網(wǎng)格來補(bǔ)償導(dǎo)軌的直線度誤差。 此外，“張量校準(zhǔn)"用于通過在校準(zhǔn)時(shí)改變測(cè)量力并多次探測(cè)同一零件來確定測(cè)針或校準(zhǔn)球體的偏轉(zhuǎn)程度，從而消除測(cè)量結(jié)果中的偏轉(zhuǎn)誤差，以實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。