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HORIBA堀場晶圓背面壓力控制系統(tǒng)GR-300 GR-300系列對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微壓差控制，還可以進(jìn)行流量測量。

HORIBA堀場GR-511F晶圓背面壓力控制系統(tǒng) GR-511F 對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微小壓力控制，還可以進(jìn)行流量測量。

日本HORIBA堀場液體物料汽化系統(tǒng)MV-2000 這是一種汽化（氣化）純水和液體材料的汽化系統(tǒng)。采用龍卷風(fēng)流方式的高效汽化，實(shí)現(xiàn)低溫下的穩(wěn)定汽化。該模型非常適合作為“液體材料：半導(dǎo)體工藝中使用的高k材料等”的穩(wěn)定蒸發(fā)系統(tǒng)。通過設(shè)置用于載氣控制的質(zhì)量流量控制器和用于測量液體物料流量的質(zhì)量流量計，完成高效的汽化系統(tǒng)。

北崎原裝HORIBA堀場SEC-N100流量控制器 它是適用于各種行業(yè)和應(yīng)用的通用型數(shù)字質(zhì)量流量控制器，具有從 10 SCCM 到 1000 SLM 的寬流量控制范圍，并且可以從數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link® 中選擇通信方式、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®。具有±1.0% SP的高精度，全量程1秒內(nèi)快速響應(yīng)，多量程/多氣體功能。

原裝供應(yīng)HORIBA堀場流量控制器SEC-Z500X 數(shù)字質(zhì)量流量控制器型號，配備多范圍/多氣體功能，允許用戶更改氣體類型和流量范圍。